微波射频磁控溅射渡膜提升装置 参数：RT-RM-1 

包括使用：本产品包括适用于专科本科学校研发和开发技术纳米技术级单双层膜；如各种类型聚氯乙烯塑料膜、材料膜；也可能在合金、有机物等聚酯薄膜村料。行控制同时溅射，亦行控制发生反应溅射。

 

常见优点：机构简洁、操作使用简单，真空室度定期维护高，安全管理可信度。

 

玻璃镀膜机应怎么安装在无残留没有灰尘埃、无生锈性固体的车间内，并应有除污保障来源、及220V的安稳电阻值等经济条件的点。

1、屋面的主要层次度要经历过调整，没法的高低动不平；

2、周围环境气温：10℃～30℃；

3、相对的绝对湿度：不多于75%；

4、耗的水量（手表进水高温≤25℃，2.5Kg≥通水压力≥1.5Kg）：约0.2T/h；

5、水硬度耍求：

矽酸洛氏硬度<6度，PH值：7－8，导电率：200us/cm,基性岩率：<200mg/L。

6、额定电压： 220V，50H_Z，

交流电压起伏面积： 198～231V；

声音频率下跌范围图：49～51Hz;

7、压差：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、内充固体含量99.9%或以上内容;

9、镀晶用消耗材料含量99.9%或往上。

 专用设备尺寸规格参数表1.1、溅射治疗室：1、钟罩：內径225mm×高速260mm；2、岩样台：外径80mm（zui大）；3、试件滑动：不动的；4、挡条：全自动；5、衬底加温器：不锈钢管加温器（DC24V）；6、衬底水温位置：温度～200℃；7、衬底可以调整相应：20mm～60mm；8、溅射室限真空室：0.5Pa1.2、真空设计设计：1、抽气体系：由机戒泵根据的一层真空室体系；抽气效率：4升/S2、负压测试：电阻功率器负压计、电阻功率器规；3、使用高压气度：1～20Pa4、运行：人工操作1.3、溅射电源开关：1、微波射频电源适配器：次数13.560MHZ,电功率：500W，用表指的是；2、抗阻输入器时间范围：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω；3、供气：AC 220V；4、冷却后策略：风冷；1.4、 磁控靶：1、靶材口径：Ф50mm、 同一个爪极靶；2、靶材料厚：3～6mm；1.5、进气系统化：2路叶轮精准水流量计进气，1.6、电原标准要求：AC 220V 50Hz 10A1.7、空气规定标准：氩气--色度99.9%(土样有特出规定标准时实用高纯)1.8、待冷却规定：靶体水冷式，溅射电原风冷1.9、体积大小计算毛重：体积大小计算：L550mm×W680mm×H1480mm；约120kg