射频磁控溅射镀膜装置 

机型；KY-HRM-1

商品编码查询：TC-003271

可设有的检测

1、掌控rf射频磁控溅射法冶膜的基本性的基础原理；

2、了解一下磁控溅射汽车镀膜仪的实际操作全过程及使用的使用范围；

3、磁控溅射法纪备金属质膜、半导体芯片膜、化学物质膜、材质膜等pet薄膜。

具体技术设备因素

    1、溅射镀膜室：由不锈钢底与玻璃钟罩组成；有效尺寸：Φ220×H230mm³；

    2、溅射镀膜室本底真空：≤1Pa；溅射腔限真空：6×10^-1Pa；

    3、溅射靶：Φ50mm，溅射靶台和溅射靶可变空距：20～60mm；

    4、基片高温的温度稳定范畴：在常温～300℃；

5、频射源电功率：500W，13.56MHz；

6、气路软件：由四公里滑片精准电磁精准电磁流量计控制（可以配线质量精准电磁精准电磁流量计）；

    7、正空度平台：2XZ-4型旋片正空度泵，抽气速度：4L/S，两相电220V讨论会电原配电；

    8、对过流淌压、断路等不正常问题来进行报警装置，并继续执行合理保护区预防措施；

    9、供电局电源线：AC220V，50Hz，整体最大功率2KW。

射频磁控溅射镀膜装置 型号：RT-RM-1

一般妙用：本产品一般适用于成人大专高等院校实验和发掘纳米级级单面膜；如各方面聚氯乙烯塑料膜、塑料膜；也应该事非彩石、化学物质等膜文件。行开展进行溅射，亦行控制反應溅射。

最主要优点：设计简单便捷易行、基本操作简单便捷，进口真空度运维高，的安全正规。

表层的镀膜机应使用在很脏洁净埃、无腐烛性乙炔气的阳台阳光房，并掌握清洗水质、及220V的固定电阻等生活条件的城市。

1、地的核心程度度要 整改，不可的高低凹凸；

2、室内环境温暖：10℃～30℃；

3、较为湿球温度：太小于75%；

4、耗用水量（渗水温差≤25℃，2.5Kg≥出水量≥1.5Kg）：约0.2T/h；

5、水体质量需求：

矽酸氏硬度<6度，PH值：7－8，导电率：200us/cm,沉淀积累率：<200mg/L。

6、电流： 220V，50H_Z，

端电压动荡区域： 198～231V；

频繁跌涨范畴：49～51Hz;

7、压差：0.3～1Kg/cm²或0.03～0.1MPa/cm²;

8、通入气态溶解度99.9%或之内;

9、渡膜用的耗费材料含量99.9%或之内。

机样式指标

1.1、溅射整理室：

       1、钟罩：直径225mm×相对高度260mm；

       2、试件台：直徑80mm（zui大）；

       3、试件转动：禁止；

       4、侧板：手动挡；

       5、衬底升温器：不锈钢304升温器（DC24V）；

       6、衬底空调温度领域：空调温度～200℃；

       7、衬底可控长度：20mm～60mm；

       8、溅射室限正空：0.5Pa

1.2、真空环境操作系统：

       1、抽气体系：由物理泵形成的特级正空体系；抽气传输速度：4升/S

       2、负压加测：阻值负压计、阻值规；

       3、经常用到真空泵度：1～20Pa

       4、运营：速腾自动档

1.3、溅射开关电源：

1、频射电源适配器：概率13.560MHZ,耗油率：500W，用表警示；

2、输出阻抗连接器范围内：（2.7～45）Ω-j（0～70）Ω； 

3、输电：AC 220V；

4、制冷方式方法：风冷；

  1.4、 磁控靶：

1、靶材截面积：Ф50mm、 一家稀土永磁靶；

2、靶材板厚：3～6mm；

1.5、进气系统性：2路叶片热度计进气，

1.6、电源线耍求：AC 220V  50Hz  10A

1.7、有害气体规定：氩气--纯净度99.9%(产品的样品有比较特殊规定时选择高纯)

1.8、一系列冷却需求：靶体水冷散热器，溅射供电风冷

1.9、空间承重：空间：L550mm×W680mm×H1480mm；约120kg

产品名称：基本型电解双喷仪  产品型号：TJ100-BE

核心型电解设备双喷仪  机型：TJ100-BE

TJ100－BE型电解双喷仪是一款简单实用的基本型电解双喷减薄设备。采购磁子驱动电解液涌流进行喷射抛光，抛光电压、破孔感光值、泵流速度旋扭可调，具有穿孔自动报警功能。能够使用少量电解液，液氮冷却方式，简单快速方便地进行金属的电镜样品制备。 

产品性能特点: 
　 加液氮制冷方式，控制盒与电解槽分开控制，抛光破孔自动报警 
　抛光电压、电流值液晶数字显示 
　抛光电压、破孔感光值及泵流速度旋钮可调 
　磁力涌流式喷射抛光，进口PVC材料整体成型加工，无泄漏风险 
　直流无刷驱动电机封闭隔离式设计，电机使用寿命长，稳定性好 
　电解电压范围:0-110V，电解电流:0-2A