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射频磁控溅射镀膜装置
扼要描叙:

射频磁控溅射镀膜装置
主要用途:本设备主要用于大专院校研究和开发纳米级单层膜;如各种硬质膜、金属膜;也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以进行直接溅射,亦可以实现反应溅射。

  • 类产品规格规格:RT-RM-1
  • 制造商质地:生产厂家
  • 更新系统时刻:2026-10-02
  • 访  问  量:1899
详尽简介

 

 

射频磁控溅射镀膜装置 

 

通常的功能:本机器通常的代替大专本科大学本科大学研发和激发nm级双层膜;如各式各样硬质的膜、合金废金属膜;也会是非要合金废金属、无机化合物等保护膜物料。会改变会直接溅射,亦会改变不良反应溅射。

射频磁控溅射镀膜装置 

最主要亮点:组成部分简洁、实际操作简便计算,重力作用度保护高,安全防护可靠的。

 

表层的镀膜机应重新安装在纯洁无尘车间埃、无的强酸强碱其他气体的地下室,并必备除污饮用水源、及220V的平稳端电压等的条件的地区。

1、路面的常见水准度要所经进行调节,不应高矮凹凸不平;

2、工作环境温暖:10℃~30℃;

3、对于空气湿度:并不严重于75%;

4、耗储水量(取水平均温度≤25℃,2.5Kg≥压差≥1.5Kg):约0.2T/h;

5、环境质量规范:

矽酸氏硬度<6度,酸碱值:7-8,水的电导率:200us/cm,岩浆岩率:<200mg/L。

6、电压: 220V,50HZ

电压降价格波动时间范围: 198~231V;

工作频率下跌超范围:49~51Hz;

7、水压:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;

8、充进汽体色度99.9%或这;

9、表层的镀膜用办公耗材溶解度99.9%或上述。

 

机 的规格性能指标

1.1、溅射处里室:

       1、钟罩:內径225mm×较高260mm;

       2、制样台:外径80mm();

       3、制样回转:禁止;

       4、隔板:自动;

       5、衬底蒸汽加温板:不透钢蒸汽加温板(DC24V);

       6、衬底温度表范围之内:恒温~200℃;

       7、衬底可调节多远:20mm~60mm;

       8、溅射室限真空室:0.5Pa

1.2、真空环境系统化:

       1、抽气装置:由机器泵成分的两级负压装置;抽气强度:4升/S

       2、高压气室检测工具:功率电容高压气室计、功率电容规;

       3、选用真空环境度:1~20Pa

       4、运作:速腾自动档

1.3、溅射电源开关:

1、rf射频交流电源:频点13.560MHZ,工作电压:500W,用表警示;

2、阻抗识别识别器位置:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 

3、用电:AC 220V;

4、待冷却手段:风冷;

  1.4、 磁控靶:

1、靶材尺寸:Ф50mm、 一些稀土永磁靶;

2、靶材壁厚:3~6mm;

1.5、进气系统的:2路叶片热度计进气,

1.6、供电的要求:AC 220V  50Hz  10A

1.7、乙炔气标准条件:氩气--溶解度99.9%(图纸有特色标准条件时的使用高纯)

1.8、散热标准要求:靶体油冷,溅射电源适配器风冷

1.9、面积计算面积:面积计算:L550mm×W680mm×H1480mm;约120kg

      
产品名称:粗糙度仪 便携式表面粗糙度仪 
产品型号: RL100

粗造度仪/轻便式式外层粗造度仪 形号:RL100

RL100是我公司推出的新一代粗糙度仪,也叫袖珍便携式表面粗糙度仪。它具有测量精度高、测量范围宽、操作简便、便于携带、工作稳定等特点,可以广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测,该粗糙度仪是传感器主机一体化的袖珍式粗糙度仪,具有手持式特点,更适宜在生产现场使用。外形采用拉铝模具设计,坚固耐用,抗电磁干扰能力显著,符合当今设计新趋势。 
优点: 
用优化的电路设计及传感器结构设计,将电箱、驱动器及显示部分合为一体,使其达到高度集成化;任意选择Ra、Rz、Rq、Rt测量参数;不仅可以测量外圆、平面、锥面,还可测长宽大于80×30mm的沟槽。 

功能特点: 
采用高速DSP处理器进行数据处理和计算,测量和运算速度大提高。显示液晶采用流行的OLED显示屏,高亮度,无视角,宽温度,适合各种场合使用。 
采用锂离子充电电池,可长时间工作,无记忆效应,可边充电边工作,充电时间短,电池寿命长。 
使用通用的USB接口进行充电和通讯。采用的充电器或计算机的USB口进行充电,方便快捷。 
点阵液晶显示,界面提示信息丰富。 
实时监测锂电电池电量并显示,及时提醒用户进行充电并具有充电进度提示。 
自动关机功能以及低功耗软硬件设计使仪器工作时间长,适合各种现场使用。 
传感器测头具有保护门,有效的保护了传感器测头,保证了测量的精度。 
  
工作原理: 
  当传感器在驱动机构的驱动下沿被测表面作匀速直线运动时,其内部垂直于工作表面的触针随工作表面的微观不平轮廓产生垂直方向的位移,再通过传感器将位移变化量转换成电量的变化,将该电信号进行放大,滤波,经A/D转换为数字信号,再经DSP处理,计算出Ra、Rz值并显示。 
技术参数: 
测量参数(μm ):Ra、Rz、Rq、Rt 
行程长度(mm):6 
取样长度(mm):0.25 ,0.80 ,2.50 
评定长度(mm):1.25 ,4.0 , 
测量范围(μm ):  
                Ra:    0.05 ~ 10.0 
                Rz:     0.1 ~ 50 
示值误差:±15% 
示值变动性: <12% 
传感器触针针尖圆弧半径及角度: 
                针尖圆弧半径:10 μm±1 μm  
传感器触针静测力及其变化率: 
                触针静测力:    ≤ 0.016N 
                测力变化率:    ≤ 800N/m 
传感器导头压力: ≤ 0.5N 
电池:3.7V锂离子电池 
外形尺寸:106 mm×70 mm×24 mm 
重量:200g 
工作环境条件: 
                温    度:  -20℃~40℃ 
                相对湿度:   <  90% 
                周围无振动、无腐蚀性介质 
  
日常维护与保养: 
避免碰撞、剧烈震动、重尘、潮湿、油污、强磁场等情况; 
每次测量完毕,要及时关掉电源,以保持电池能量,并应及时对电池进行充电; 
传感器是仪器的精密部件,切记精心维护。每次使用完毕,要将仪器的保护盖轻轻盖好。避免对传感器造成剧烈的振动;随机标准样板应精心保护,以免划伤后造成校准仪器失准

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